-，對于源擴散制作工業(yè)生產(chǎn)過程如下:

　　，通入大流量的氮氣(500～30000塵/塵頸蒼)，驅(qū)除管道內(nèi)的氣體。如果是新處理的石英管，使石英管壁吸收至飽和狀態(tài)。

　　，在大流量的氮氣(500～5000塵嘗/塵頸蒼)保護下預熱若干分鐘。

　　,氧氣流量為 500 ～300ml/ min,通源時間為15 ～60min。

　　，然后通大流量氮氣若干分鐘，以驅(qū)走殘存在管道內(nèi)的源蒸氣。

　　。

　　(

　　固態(tài)氮化硼源擴散通常采用片狀氮化硼作源，在氮氣保護下進行擴散。，也可用粉狀氨化硼沖壓成片。擴散前,氮化硼片預先在擴散溫度下通氧氣30塵頸蒼,使氮化硼表面的叁氧化二硼與硅發(fā)生反應，形成硼硅玻璃沉積在硅表面，硼向硅內(nèi)部擴散。擴散。

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